All the latest science news on electron-beam lithography from Phys.org. Find the latest news, advancements, and breakthroughs.

Sau hậu quả thảm khốc của Thế chiến II với hai trái bom nguyên tử ném xuống Hiroshima và Nagasaki, dân tộc Nhật Bản đã đứng lên tái thiết đất nước và nhanh chóng tạo dựng được một vị thế nổi bật và ...

Huawei has confirmed in a posting on its website reports about its breakthrough in making a light source component used in EUV lithography systems which are required for making high-end processors ...

Extreme ultraviolet (EUV) lithography is a soft X-ray technology, which has a wavelength of 13.5nm. Today’s EUV scanners enable resolutions down to 22nm half-pitch. In a system, an EUV light source ...